1.工作人员会上门勘察测量数据。
与建设单位进行交流，了解提取生产工艺，根据现场的测量情况，进行详细的施工程序规划及步骤。
2.材料进场
施工材料主要有：
保温围板;
铝合金材料：U型槽铝、吊顶T型铝、外圆弧、内圆弧、角铝等;
密闭门、密闭窗;
各配件。
3、画线放线
4、铝材安装
风淋室，洁净棚，FFU，洁净工作台，高效送风口，初，中，高效过滤器，洁净风柜，高压送风箱，风柜，全自动洗手机，货淋室，自动门风淋室，保温材料，净化灯具，五金交电，装修专用净化铝材。
5、墙板安装
根据半导体无尘车间要求不同，采用的板材也不一样。比如：温湿度要求、防水防潮、保温隔热、耐腐蚀、耐酸碱、抗氧化、硬度高等等，需要知道用户属于什么行业，做什么产品，适合什么级别，再根据这些要求去选择适合的板材。
6、吊顶安装
没有的强制标准。但是吊顶内的设备需要高度一定要留足。其中，除建筑构造需要空间外还应考虑：送风、回风、排烟、电缆桥架、工艺直排、工艺纯水、压缩空气、事故照明各类设备设施外还应考虑检修人员的活动和操作空间需要。
7、打胶收边
打胶能使墙面更加美观好看，粘合缝隙，也起一定的固定作用。
8、安装门
洁净门为彩钢板夹芯壁板门，门扇材质同壁板墙。
门的材料符合无尘车间要求，门框的三边及门底部应有密封。
门在工厂预制完成，门框结构适合在墙板上安装, 宽度适合墙板模数1200mm的宽度。
门框≥1.6mm铝合金型材或镀锌钢板制作，表面防静电粉末喷涂，颜色待定。
门扇≥1.2m热镀锌钢板制作，镀锌量不小于90g/m2， 表面防静电粉末喷涂，颜色待定。
门夹芯材料与墙板一致，门厚度与墙板厚度一致。
门的防火性能符合图纸要求。
门上视窗为6mm厚浮法玻璃。
门配套闭门器及绞链，门锁等五金，五金要求为不锈钢材料。
9、灯具安装
10、设备安装
传递窗、洁净工作平台、FFU风机过滤单元、层流罩等。
11、线路布置
无尘车间设计照明布线应同各类电气线路、各专业管道一样，遵循一个“隐蔽”的原则。洁净室气流流型不同，它的建筑结构也不相同，非单向流洁净室，一般只有设技术夹层或吊顶;垂直单向流洁净室，设有上下技术夹层，上技术夹层是送风静压箱，循环风处理装置、高效过滤器，部分电力、照明、通信管线也在此敷设;下技术 夹层是回风静压箱(回风道)，一般敷设水管、气体管道、电气管线、电缆桥架、封闭式母线等;与洁净室相毗邻设有技术夹道或技术竖井，敷设竖向管道或放置那些不宜放在内的辅助生产设备。
无尘车间中照明配电箱由于灯具的所在位置常常设在顶棚以上的技术夹层或技术夹道内，这样容易接近负荷中心，水平布线短，抻于隐蔽。
只设有吊顶的无尘车间，吊顶内管线复杂，注意电气管线敷设时要注意尽量远离爆炸性气体管道或采取相关措施;必须在无尘车间内安装的照明配电箱、开关等应尽量暗装，电线、电缆管线穿过吊顶处必须进行密封处理，防止吊顶内灰尘和细菌等进入无尘车间。
12、风管系统安装
无尘车间风管保温：
风管保温前必须进行漏光测试完毕;
风管保温材料铁皮及保温棉分别刷胶充足;
小块保温棉拼接尽量贴在风管上侧隐蔽不易看到处;
法兰两边处不必从新加厚贴保温，直接环形加贴保温即可;法兰保温宽度100mm，接缝至于顶部;
保温棉的用量不得超过成品风管铁皮风管面积的15%(高、效风口另算)。
13、地坪漆施工
随着地坪漆行业的快速发展，在工厂装修施工中，地坪漆的运用必不可少，洁净无尘的地面当然是企业上等级、产品上档次的首要选择，所以在选择地坪漆的时候，也需要多加的注意。好的地坪漆有防尘、耐磨、附着力强、硬度高、防霉、耐油污、抗酸碱腐蚀，清洁方便、造价低廉、施工快捷、美观大方等特点。
14、空调安装
系统：净化空调系统 ，是由高效的通风过滤器，过滤空气中的颗粒物达到所需要的空气等级，如：十万级、万级等。
15、调试运行
控制无尘车间空气参数的目的—检查无尘车间是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的无尘车间检测阶段，还是无尘车间使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在无尘车间内，按其用途的不同应控制下列参数：
测试状态的确定;
空气中粒子的浓度;
气流的风速和单向性(对单向气流而言);
风量和换气次数;
终过滤器的整体性;
空气温度和湿度;
无尘车间的密闭性;
无尘车间表面的洁净度。
16、验收
质量安全检查员：负责质量、安全、检查监督工作，以常深入工地，做好检查记录，做到层层把关，避免返工，保证质量，使工程质量达到省优良。
